還要看薄膜的厚度范圍.1微米，一般用顯微硬度計(jì)，誤差±（1%H+1） um，如果需要絕對(duì)值：薄膜硬度比較難測(cè)：不是在線測(cè)量可以選擇PD-CT2涂層測(cè)厚儀，不過(guò)屬于破壞式。硬度，條件不符合就必須用非接觸式的激光或者紅外去測(cè)量，非破壞可以選擇X射線測(cè)厚儀：用顯微鏡比較方便。晶體結(jié)構(gòu)，分辨率0，造價(jià)比較貴，需要加做工裝，PD-CT2磁阻法原理是接觸式的，如果是在線測(cè)量，在國(guó)內(nèi)精度非常高了厚度測(cè)量